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MEMS微型皮拉尼真空傳感器具有更高的精度、可重復性和更低功耗。
傳統的皮拉尼真空傳感器使用熱線或熱敏電阻,通過監測熱線或熱敏電阻在真空環境中的熱傳遞來測量真空。POSIFA通過將皮拉尼傳感器的所有部件微加工成單一的集成微結構,徹底改變了使用熱導率測量真空壓力的方式。由此產生的微型皮拉尼真空傳感器具有更高精度、可重復性、測量范圍和更低功耗,允許工程師設計出比以往設備大大縮小的真空測量產品和應用。POSIFA的傳感器采用先進的CMOS半導體工藝,具有卓越的性能和可擴展性,在確保高品質的同時,實現了較低的生產成本。

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